Szerző dc.contributor.author | Szabó P.I. | |
Szerző dc.contributor.author | Ugi D. | |
Szerző dc.contributor.author | Gilicze B. | |
Szerző dc.contributor.author | Dankházi Z. | |
Szerző dc.contributor.author | Lipcsei S. | |
Szerző dc.contributor.author | Homik Z. | |
Szerző dc.contributor.author | Tóth Z. | |
Elérhetőség dátuma dc.date.accessioned | 2023-07-14T10:38:36Z | |
Rendelkezésre állás dátuma dc.date.available | 2023-07-14T10:38:36Z | |
Kiadás dc.date.issued | 2023 | |
Issn dc.identifier.issn | 1432-0630 | |
Issn dc.identifier.issn | 0947-8396 | |
Uri dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.12944/20694 | |
Kivonat dc.description.abstract | Ablation with ultrashort laser pulses as a surface micromachining tool was studied using a hybrid die-excimer laser system that has high energy per laser pulse (tens of mJ’s), about 600 fs pulse duration and low repetition rate (2 Hz). The effect of ablation on the material microstructure with this high energy pulsed laser system was studied. Micropillars were fabricated by laser ablation using a spot size of hundreds of micrometers. Two methods were tested for micromachining. Multiple laser pulse ablation on a standing sample resulted in a columnar microscturcure around the micropillars. This unwanted structure was avoided by beam scanning, resulting in a rather homogeneous ditch. By HR-EBSD measurement it was found that the heat affected zone is less than 1 ?m , which was confirmed by numerical temperature simulations, too. The dislocation density measured below the specimen surface was unaltered, meaning that no significant crystal degradation occurred. In summary, large-scale micro objects with a diameter in the order of 100 ?m without significant change in the crystalline microstructure below the surface, like large-scale micropillars for compression tests, can be fabricated. | |
Nyelv dc.language | en | |
Kulcsszó dc.subject | Femtosecond laser ablation | |
Kulcsszó dc.subject | Micromachining | |
Kulcsszó dc.subject | Microstructure | |
Kulcsszó dc.subject | Dislocation density | |
Kulcsszó dc.subject | Micropillar fabrication | |
Cím dc.title | Micromachining using the high energy flat-top beam of a femtosecond pulse UV laser system: micropillar prefabrication | |
Típus dc.type | folyóiratcikk | |
Változtatás dátuma dc.date.updated | 2023-07-07T08:01:24Z | |
Változat dc.description.version | kiadói | |
Hozzáférés dc.rights.accessRights | nyílt hozzáférésű | |
dc.description.notes | High Intensity Laser Laboratory (HILL), Institue of Physics, University of Szeged, Dóm tér 9, Szeged, 6720, Hungary Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary Department of Materials Physics, Eötvös Loránd University, Pázmány Péter sétány 1/A, Budapest, 1117, Hungary Department of Medical Physics and Informatics, University of Szeged, Korányi fasor 9, Szeged, 6720, Hungary Export Date: 25 May 2023; Cited By: 0; Correspondence Address: P.I. Szabó; Department of Natural Science, University of Public Service, Budapest, 1441, Hungary; email: szabo.peter.imre@uni-nke.hu; CODEN: APAMF | |
Doi azonosító dc.identifier.doi | 10.1007/s00339-023-06679-x | |
Tudományág dc.subject.discipline | Természettudományok | |
Tudományterület dc.subject.sciencebranch | Természettudományok/Fizikai tudományok | |
Mtmt azonosító dc.identifier.mtmt | 33871039 | |
Folyóirat dc.identifier.journalTitle | Applied Physics A - Materials Science and Processing | |
Évfolyam dc.identifier.journalVolume | 129 | |
Füzetszám dc.identifier.journalIssueNumber | 6 | |
Terjedelem dc.format.page | 1-9 | |
Wos azonosító dc.identifier.wos | 000985504300002 | |
Scopus azonosító dc.identifier.scopus | 85158918076 | |
Folyóiratcím rövidítve dc.identifier.journalAbbreviatedTitle | APPL PHYS A-MATER | |
Szerző intézménye dc.contributor.department | Természettudományi Tanszék | |
Szerző intézménye dc.contributor.department | Anyagfizikai Tanszék | |
Szerző intézménye dc.contributor.department | Orvosi Fizikai és Orvosi Informatikai Intézet | |
Szerző intézménye dc.contributor.department | Kísérleti Fizikai Tanszék | |
Szerző intézménye dc.contributor.department | Fizika Doktori Iskola | |
Szerző intézménye dc.contributor.department | Orvosi Fizikai és Orvosi Informatikai Intézet |